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產品型號: FM-CVD
所屬分類:探頭
產品時間:2024-07-20
簡要描述:石英管式微波等離子體裝FM-CVD詳細介紹 (一)主要配置:1、微波頻率2.45GHz;足額功率0~500W(基本型)或0~1000W(升級型)連續(xù)可調,陽*壓、陽極電流足額顯示;2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升級型)石英管真空室,有一個觀察窗和一個診斷窗;3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻,保證裝置安全運行。4、配有真
石英管式微波等離子體裝FM-CVD
的詳細介紹
(一)主要配置:
1、微波頻率2.45GHz;足額功率0~500W(基本型)或0~1000W(升級型)連續(xù)可調,陽*壓、陽極電流足額顯示;
2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升級型)石英管真空室,有一個觀察窗和一個診斷窗;
3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻,保證裝置安全運行。
4、配有真空測量及控制閥門系統(tǒng);3路工作氣體流量控制;
(二)典型實驗:
1、等離子體化學氣相沉積。A(氣)+B(氣)→C(固)+D(氣)。
反應氣體A、B被激發(fā)為等離子狀態(tài),其活性基團發(fā)生反應生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上,可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。
2、等離子體表面刻蝕。A(氣)+B(固)→C(氣)。反應氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應生成氣態(tài)物C,可用于集成電路的刻蝕實驗。
3、等離子體催化反應。等離子體中具有豐富的活性成分,如紫外和可見光子、電子、離子、自由基,高反應性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài),從而可以引發(fā)在常規(guī)化學中不能或很難實現的化學反應。
4、等離子體表面改性。A(氣)+B(固)→C(固)。反應氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài),與固體B表面發(fā)生反應,生成新的化合物,從而達到改變B物質表面性質的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫(yī)用材料的表面改性。
(三)產品特色:
1、 微波系統(tǒng)設計嚴謹,加工精良,運行時微波準零泄漏,確保使用者人身安全;
2、 微波功率充足,等離子效應強勁,作用效果良好;陽極電壓電流足額顯示。
3、 樣品臺升降架精巧豪華,方便調諧和樣品取放;
4、 樣品臺可加熱或冷卻,有利于控制反應過程。
5、制冷循環(huán)水系統(tǒng)踐行環(huán)保理念,避免用長流水費水擾民。
6、循環(huán)水機可聯(lián)機使用、可獨立使用,提高了投資效益;
7、缺水時啟動高壓或正常工作時斷水,系統(tǒng)會斷電并報警;
8、真空泵排氣口接有油霧過濾器,保護環(huán)境;
9、電控系統(tǒng)功能完善、操作靈便、指示醒目;
10、整機造型典雅大氣。
(四)輔助設備與耗材(主要由客戶另購):
超聲清洗機、1000×金相顯微鏡;硅片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英管 / 板等。
石英管式微波等離子體裝FM-CVD
(五)特殊配置(客戶提出要求,本廠設計制作,費用雙方協(xié)商):
1、異型基片臺(樣品臺)
2、上置疹斷探針(帶透明觀察窗)
3、可加熱可測溫的基片臺——可水冷可
出接線端子的基片臺支柱——寬行程
精巧豪華升降架——下法蘭(總成)
4、基片臺加熱及溫度測控儀
5、可水冷的基片臺(帶升降架總成)
6、光學鏡頭(用于聯(lián)接光譜儀、光度計等)
7、客戶提出需求的其它配置